rotary pump1 [진공 펌프 종류]Vacuum pump 종류(저진공 펌프, 고진공 펌프 등) Vacuum pump는 진공도에 따라 나누어진다. 진공 펌프는 일정 용기 내의 기체 분자를 제거함으로써 진공도를 높일 수 있는 설비이다. 진공 영역을 진공도에 따라 분리하여 구분하는 이유는 각 진공도에 따라서 적용할 수 있는 공정들이 분류되며, 이러한 진공도를 유지하기 위한 펌프의 종류 또한 진공도에 따라 달라지기 때문이다. 대표적인 진공도에 따라서 분류할 수 있는 진공 펌프(Vacuum pump)는 아래와 같다. 압력 대기압 ~ 1 Torr 1~10-3Torr 10-3~10-8 Torr 10-8 Torr~ 진공 영역 구분 저진공(Low vacuum) 중진공 고진공 초고진공 진공 펌프 종류 Rotary pump, Dry pump Rotary pump TMP, Diffusion pump TMP, SIP 진.. 2023. 3. 2. 이전 1 다음
