진공 펌프2 [진공 펌프 종류]Vacuum pump 종류(저진공 펌프, 고진공 펌프 등) Vacuum pump는 진공도에 따라 나누어진다. 진공 펌프는 일정 용기 내의 기체 분자를 제거함으로써 진공도를 높일 수 있는 설비이다. 진공 영역을 진공도에 따라 분리하여 구분하는 이유는 각 진공도에 따라서 적용할 수 있는 공정들이 분류되며, 이러한 진공도를 유지하기 위한 펌프의 종류 또한 진공도에 따라 달라지기 때문이다. 대표적인 진공도에 따라서 분류할 수 있는 진공 펌프(Vacuum pump)는 아래와 같다. 압력 대기압 ~ 1 Torr 1~10-3Torr 10-3~10-8 Torr 10-8 Torr~ 진공 영역 구분 저진공(Low vacuum) 중진공 고진공 초고진공 진공 펌프 종류 Rotary pump, Dry pump Rotary pump TMP, Diffusion pump TMP, SIP 진.. 2023. 3. 2. [진공 개념]진공이란? 반도체에서 진공이 필요한 이유, Torr, Pa 진공 개념 Vacuum 반도체에서 진공이 필요한 이유 반도체 산업이 발전하고 급부상하면서, 진공에 대한 개념들이 중요해지고 있다. 공학 도라면 한 번쯤은 들어봤을 만한 진공의 개념에 대해서 정리해보고자 한다. 반도체뿐만 아니라 다양한 산업군에서 진공을 이용한 시스템들이 존재하며, 이러한 시스템에서는 진공을 만들어내는 진공 펌프(pump)들이 시스템과 연결되어 있다. 진공의 개념과 진공을 표현하는 용어들을 이해하면 산업을 이해하는데 도움이 될 것으로 생각한다. 진공이란 '대기압보다 낮은 상태'를 의미하며 반도체 제조 공정에서는 진공 공정 장비를 많이 사용합니다. 그렇다면 진공이 무엇이며, 어떻게 진공을 만들며, 왜 진공이 필요한 지 알아야 한다. 진공은 대기압보다 낮은 압력 상태를 의미하기 때문에 대기압(.. 2022. 3. 8. 이전 1 다음
